Що таке полірувальна пластина з керамічної пластини високої чистоти з оксиду алюмінію?

Зі швидким розвитком напівпровідникової промисловості масштаби галузі стрімко зростали, а обладнання для виробництва напівпровідників продовжувало розвиватися в напрямку точності та складності. Оскільки кераміка має такі переваги, як висока твердість, високий модуль пружності, висока зносостійкість, висока ізоляція, стійкість до корозії, низький коефіцієнт розширення тощо, її можна використовувати як деталі машин для полірування кремнію, обладнання для епітаксіальної/окислювальної/дифузійної термічної обробки, літографічних машин, машин для осадження, травлення напівпровідників, машин для іонної імплантації та іншого обладнання, тому дослідження, розробки та виробництво прецизійних керамічних деталей безпосередньо впливають на розвиток напівпровідникової промисловості. Технічні вимоги до її виробництва стають дедалі вищими.

Високочистий глинозем, 99,7%-99,9% глинозему.
Висока механічна міцність, висока зносостійкість, висока електроізоляція, висока хімічна стабільність, добра термостійкість та стійкість до корозії. Наразі використання керамічних шліфувальних дисків для шліфування напівпровідникових кремнієвих пластин є найсучаснішим методом шліфування. Для шліфування нарізаної кремнієвої пластини використовується двосторонній процес шліфування, а якість шліфувальної пластини покращується завдяки вдосконаленню процесу шліфування (матеріал диска, шліфувальна рідина, тиск шліфування та швидкість шліфування тощо). Зокрема, використання керамічних пластин замість чавунних дозволяє уникнути шліфування основної поверхні пластини, спричиненого шрамами або забрудненням, зменшити внесення іонів металів, зменшити час подальшої обробки кремнію, скоротити час подальшого процесу (корозії), підвищити ефективність виробництва та зменшити втрати кремнію під час обробки, що значно покращує використання кремнію.

Полірувальна пластина з високоглиноземистими пластинамиВикористовується в напівпровідниковій, нафтовій, хімічній, фотоелектричній, рідкокристалічній та інших галузях промисловості, таких як механічні деталі, електронні деталі, індукційні диски для мікрохвильових печей, ізоляційні матеріали та інші деталі, напівпровідникові прилади, вакуумне обладнання, обладнання для виробництва рідких кристалів та інші деталі. Великорозмірна та високочиста глиноземна кераміка має важливе застосування в сапфіровій промисловості та промисловості напівпровідникових мікросхем. Вона є ключовою опорою та витратним матеріалом для хіміко-механічного полірування (ХМП) сапфірових та напівпровідникових кремнієвих пластин. Великорозмірна та високочиста глиноземна кераміка також може використовуватися як алюмінієва підкладка для РК-дисплеїв.