Чемшунполірувальна пластина з оксиду алюмінію/поворотний стіл виготовлений з високочистого оксиду алюмінію 99,7-99,9%. Високочиста кераміка з оксиду алюмінію характеризується видатною жорсткістю та чудовою зносостійкістю для полірування пластин, а також зберігає гарну форму поверхні протягом тривалого періоду часу. Вона виготовлена методом PIBM (імпульсного лазерного випромінювання). Вона є представником напівпровідникової промисловості завдяки своїй неперевершеній термічній та розмірній стабільності, а також стійкості до суворих умов експлуатації обладнання для обробки мікрочіпів.
Хіміко-механічна планаризація (ХМП), також відома як хіміко-механічне полірування, – це технологія у виробництві напівпровідникових приладів. Вона використовує хімічну корозію та механічні сили для вирівнювання кремнієвих пластин або інших матеріалів підкладки під час обробки.
Обладнання CMP в основному поділяється на дві частини: полірувальну частину та очисну частину. Полірувальна частина складається з 4 частин, а саме: 3 поворотних полірувальних столів та модуля завантаження та вивантаження пластин. Очисна частина відповідає за очищення та сушіння пластини для досягнення її «внутрішнього та зовнішнього висихання». У всьому полірувальному обладнанні важливу роль відіграє оксидна кераміка.
Алюмінієва кераміка зазвичай використовується для виготовлення дисків для полірування пластин, які вимагають високої чистоти, високої хімічної стійкості та хорошого контролю форми та шорсткості поверхні.
Керамічний шліфувальний диск Chemshun 99,7% Al2O3 виготовлений з передових керамічних матеріалів, які підходять для тонкого шліфування різних матеріалів, особливо для шліфування крихких матеріалів, таких як пластини, кераміка та скло. Наш керамічний шліфувальний диск може бути виготовлений у різних розмірах залежно від різних моделей шліфування та полірування.
Час публікації: 30 травня 2025 р.