Як полірування глиноземних керамічних пластин і сапфірові диски для притирки, які використовуються в напівпровідникових, алмазних поліруваннях тощо.
Процес: усі типи процесу полірування та притирки, такі як хімічне механічне полірування CMP, механічне полірування, точне полірування.
Висока чистота і хімічна стійкість
Висока механічна міцність і твердість
Висока стійкість до корозії
Опір високої напруги
Стійкість до високих температур до 1700ºC
Надзвичайна стійкість до стирання
Чудова теплоізоляція
Усі типи розмірів 180, 360, 450, 600 мм тощо
Назва продукту | Керамічні полірувальні диски з глинозему високої чистоти 99,7 |
матеріал | 99,7% глинозему |
Нормальний розмір | D180, 360, 450, 600 мм, приймається індивідуальний розмір. |
Колір | Слонова кістка |
застосування | Вафельний і сапфіровий процес CMP у напівпровідниковій промисловості |
Мін.замовлення | 1 Мал |
одиниця | 99.7 Глиноземна кераміка | ||
Загальні властивості | Вміст Al2O3 | вага% | 99,7-99,9 |
Щільність | г/куб.куб | 3,94-3,97 | |
Колір | - | Слонова кістка | |
Водопоглинання | % | 0 | |
Механічні властивості | Міцність на вигин (MOR) 20 ºC | Мпа(psix10^3) | 440-550 |
Модуль пружності 20ºC | ГПа (psix10^6) | 375 | |
Твердість за Віккерсом | Gpa (кг/мм2) R45N | >=17 | |
Міцність на вигин | Gpa | 390 | |
Міцність на розрив 25ºC | МПа (psix10^3) | 248 | |
В'язкість до руйнування (KI c) | Мпа* м^1/2 | 4-5 | |
Теплові властивості | Теплопровідність (20ºC) | Вт/мк | 30 |
Коефіцієнт теплового розширення (25-1000ºC) | 1x 10^-6/ºC | 7.6 | |
Стійкість до термічного удару | ºC | 200 | |
Максимальна температура використання | ºC | 1700 | |
Електричні властивості | Діелектрична міцність (1 МГц) | ac-kv/mm (ac v/mil) | 8.7 |
Діелектрична проникність (1 МГц) | 25ºC | 9.7 | |
Об'ємний питомий опір | Ом-см (25ºC) | >10^14 | |
Ом-см (500ºC) | 2×10^12 | ||
Ом-см (1000ºC) | 2×10^7 |
Приймаємо індивідуальні замовлення.
Якщо ви хочете дізнатися більше про продукт, будь ласка, зв’яжіться з нами, і ми запропонуємо вам найбільш відповідний продукт і найкраще обслуговування!